Multi-chamber High Vacuum Sputtering Deposition System (1)

Danmarks Tekniske Universitet - DTU

This tender is concerning a multi-chamber high vacuum sputtering deposition system for R&D and pi-lot production applications with focus on high flexibility regarding source materials (metals, semicon-ductors, and dielectrics), substrate materials and substrate sizes. The system will be used for sputter deposition of various thin films onto standard sized Si-wafers (mainly 100 mm and 150 mm) but it should also be possible to load smaller chips using carriers. It should be possible to deposit metal oxides, metal nitrides, and pure metal thin films and semiconductors in various sputtering modes (DC/RF/pulsed DC/HiPIMS/reactive sputtering).

Deadline
Fristen for modtagelse af bud var på 2018-10-12. Indkøbet blev offentliggjort på 2018-09-19.

Hvem?

Hvad?

Hvor?

Indkøbshistorik
Dato Dokument
2018-09-19 Udbudsbekendtgørelse
2018-10-12 Supplerende oplysninger
Udbudsbekendtgørelse (2018-09-19)
Ordregivende myndighed
Navn og adresser
Navn: Danmarks Tekniske Universitet - DTU
Nationalt registreringsnummer: 30060946
Postadresse: Anker Engelunds Vej 1
Postby: Kgs. Lyngby
Postnummer: 2800
Land: Danmark 🇩🇰
Kontaktperson: Alexi Burns-Tang
Telefon: +45 45251126 📞
E-mail: alexi@adm.dtu.dk 📧
Region: Danmark 🏙️
URL: http://www.dtu.dk 🌏
Køberprofilens adresse: https://eu.eu-supply.com/ctm/Company/CompanyInformation/Index/165863 🌏
Kommunikation
URL til dokumenter: http://eu.eu-supply.com/app/rfq/rwlentrance_s.asp?PID=220404&B=DTU 🌏
URL for deltagelse: http://eu.eu-supply.com/app/rfq/rwlentrance_s.asp?PID=220404&B=DTU 🌏

Objekt
Omfanget af udbuddet
Titel: Multi-chamber High Vacuum Sputtering Deposition System (1)
Produkter/tjenester: Måleudstyr 📦
Kort beskrivelse:
“This tender is concerning a multi-chamber high vacuum sputtering deposition system for R&D and pi-lot production applications with focus on high flexibility...”    Vis mere

1️⃣
Yderligere produkter/tjenester: Laboratorieudstyr, optisk udstyr og præcisionsudstyr (ikke briller) 📦
Sted for udførelsen: Danmark 🏙️
Beskrivelse af udbuddet:
“This tender is concerning a multi-chamber high vacuum sputtering deposition system for R&D and pi-lot production applications with focus on high flexibility...”    Vis mere
Kriterier for tildeling
Kvalitetskriterium (navn): Quality and functionality
Kvalitetskriterium (vægtning): 55 %
Kvalitetskriterium (navn): Service
Kvalitetskriterium (vægtning): 15 %
Pris (justeringskoefficient): 30 %
Kontraktens, rammeaftalens eller det dynamiske indkøbssystems varighed
Nedenstående tidsramme er udtrykt i antal måneder.
Beskrivelse
Varighed: 24
Oplysninger om valgmuligheder
Indstillinger
Beskrivelse af mulighederne:
“Section ID description weight — Quality points A5.17 A-Gen 17 In-situ quartz crystal microbalance thickness measurement. Describe solution. 2,75 B5.19 B-Gen...”    Vis mere

Juridiske, økonomiske, finansielle og tekniske oplysninger
Betingelser for deltagelse
Liste og kortfattet beskrivelse af betingelserne:
“Tenderer holds an official quality management certificate (ISO 9001-2015 or similar). Provide a copy of the certificate (ISO 9001-2015 or similar)”
Økonomisk og finansiel stilling
Liste og kortfattet beskrivelse af udvælgelseskriterier:
“The tenderer must state the general yearly turnover and the specific yearly turnover in the business area covered by the contract for the last 3 audited...”    Vis mere
Betingelser for deltagelse

“Turnover: the minimum level for suitability is 2 x the contract value calculated as an average of the turnover in the last 3 financial years. All key...”    Vis mere
Teknisk og faglig kompetence
Liste og kortfattet beskrivelse af udvælgelseskriterier:
“The Tenderer must give references for comparable contracts. The minimum level for suitability is 3 customer references for each of the 3 requirements below,...”    Vis mere
Betingelser for deltagelse
Betingelser for deltagelse (tekniske og faglige kvalifikationer):
“The minimum level for suitability is 3 customer references for each of the 3 requirements stated above.”

Procedure
Type af procedure
Åben procedure
Administrative oplysninger
Frist for modtagelse af bud eller ansøgninger om deltagelse: 2018-10-12 12:00 📅
Sprog, på hvilke bud eller ansøgninger om deltagelse kan indgives: dansk 🗣️
Sprog, på hvilke bud eller ansøgninger om deltagelse kan indgives: engelsk 🗣️
Buddet skal være gyldigt indtil: 2019-04-19 📅
Betingelser for åbning af buddene: 2018-10-19 12:00 📅

Supplerende oplysninger
Oplysninger om elektroniske arbejdsgange
Der vil blive anvendt elektronisk bestilling
Elektronisk fakturering vil blive accepteret
Der vil blive anvendt elektronisk betaling
Gennemgå organ
Navn: Klagenævnet for Udbud
Postadresse: Nævnenes hus, Toldboden 2
Postby: Viborg
Postnummer: 8800
Land: Danmark 🇩🇰
Telefon: +45 35291000 📞
E-mail: klfu@erst.dk 📧
URL: http://www.klfu.dk 🌏
Gennemgangsprocedure
Præcise oplysninger om fristerne for gennemgangsprocedurer:
“Precise information on deadline(s) for review procedures: Complaint regarding a decision on shortlisting: Complaint regarding a decision on shortlisting...”    Vis mere
Tjeneste, hvorfra der kan indhentes oplysninger om klageproceduren
Navn: Konkurrence- og Forbrugerstyrelsen
Postadresse: Carl Jacobsens Vej 35
Postby: Valby
Postnummer: 2500
Land: Danmark 🇩🇰
Telefon: +45 41715000 📞
E-mail: kfst@kfst.dk 📧
URL: http://www.kfst.dk 🌏
Kilde: OJS 2018/S 183-413683 (2018-09-19)
Supplerende oplysninger (2018-10-12)
Ordregivende myndighed
Navn og adresser
Postby: Kgs Lyngby

Objekt
Omfanget af udbuddet
Titel: Multi-Chamber High Vacuum Sputtering Deposition System (1)
Kort beskrivelse:
“This tender is concerning a multi-chamber high vacuum sputtering deposition system for R and D and pi-lot production applications with focus on high...”    Vis mere

Supplerende oplysninger
Oprindelig reference til meddelelsen
Meddelelsesnummer i EUT S: 2018/S 183-413683

Ændringer
Tekst, der skal berigtiges i den oprindelige meddelelse
Afsnittets nummer: IV.2.2)
Sted for den tekst, der skal ændres: Time limit for receipt of tenders or requests to participate
Gammel værdi
Dato: 2018-10-12 📅
Tid: 12:00
Ny værdi
Dato: 2018-10-24 📅
Tid: 12:00
Kilde: OJS 2018/S 203-462280 (2018-10-12)
Relaterede søgninger 🔍